多晶硅球閥出現(xiàn)卡死的處理故障方式有很多種，主要以下幾種方法比較可行：

1. 閥座的板簧變形腔，密封性能不好，以致于多晶硅的硅粉進(jìn)入閥座板簧變形腔，造成板簧被堵死失效后，球閥被閥座卡死從而不能很好的進(jìn)行開(kāi)關(guān)，甚至不能關(guān)閉。

2. 閥體與球之間的中腔在閥門(mén)開(kāi)關(guān)的時(shí)候進(jìn)入硅粉，使球體抱死造成多晶硅球閥不能順利開(kāi)關(guān)。但造成這種原因需要一個(gè)工況條件，就是在硅粉潮濕的情況下才能黏結(jié)在腔體內(nèi)。而硅粉在干燥或流體的情況下是不會(huì)造成這種抱死的情況的。要是硅粉在干燥或流體的情況下造成抱死情況那就是第一種情況硅粉進(jìn)入了閥座板簧變形腔了。

上述出現(xiàn)多晶硅球閥抱死故障的處理方法：

1. 采用全O形球體的球閥，雙閥座，板簧加載結(jié)構(gòu)，閥座密封設(shè)計(jì)成寬面刮刀式結(jié)構(gòu)，在閥門(mén)開(kāi)關(guān)時(shí)能除去黏結(jié)在球面的硅粉，具有自剪的自清潔功能，板簧采用雙石墨密封結(jié)構(gòu)，在閥門(mén)密封的同時(shí)，板簧也被密封，介質(zhì)不會(huì)進(jìn)入板簧變形腔，使板簧不被堵死失效，可以長(zhǎng)時(shí)間滿足使用要求。

2. 在潮濕硅粉堵塞閥門(mén)中腔造成抱死不能開(kāi)關(guān)的這種特殊情況， 我們一般建議客戶(hù)加強(qiáng)硅粉的干燥效果或改用推出的V形半球閥和V型球閥，來(lái)徹底解決多晶硅球閥卡死堵塞問(wèn)題。